干式螺桿真空泵主要采用一對螺桿，其特點是兩個螺桿經(jīng)過精細動平衡校正后安裝在泵殼內(nèi)，由軸承支撐，螺桿之間有一定間隙。因此，干式螺桿真空泵在工作時，兩者之間沒有摩擦，運行穩(wěn)定，噪音低，工作腔不需要潤滑油。干式螺桿泵可在含有大量水蒸氣和少量灰塵的場合泵出氣體，極端真空度較高。然而，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格昂貴。

干式螺桿真空泵是一種抽氣裝置，它利用一對螺桿在泵殼內(nèi)同步高速反向旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生吸入和排出。它的優(yōu)點彌補了油封真空泵的缺點。我們都稱之為油封真空泵的升級版。但干式螺桿真空泵的成本也是其不足之處。接下來，我們將主要介紹其優(yōu)缺點：

1、工作室和螺桿轉(zhuǎn)子表面均涂有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工作條件

2、泵內(nèi)氣體未被壓縮，因此適合抽取可凝氣體

3、無油耗、無滴水

4、結(jié)構(gòu)簡單，維護方便。

5、泵送氣體直接從泵體排出，不污染水，無環(huán)境壓力，更便于氣體回收。

干式螺桿真空泵的缺點

1、由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格昂貴。

2、不適合抽出爆炸性氣體。

3、不適合抽出含氧量高的氣體。

隨著我國工業(yè)的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造業(yè)中，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的油真空泵已不能滿足這種要求。螺桿式干式真空泵以其泵速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、泵室部件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點，受到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視。在干式真空泵市場占有重要地位。在歐美、日本等發(fā)達國家，螺桿式干式真空泵在許多領(lǐng)域日益取代傳統(tǒng)的油泵。